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? ²ÝÝ®ÊÓÆµWWW.5.APP目前,拓荆科技主要从事PECVD(等离子体增强化学气相沉积)、ALD(原子层沉积)、Gap Fill(沟槽填充)等薄膜沉积设备的研发和产业化应用,可以支撑逻辑芯片、存储芯片中所需的全部介质薄膜材料约100多种工艺应用。吕光泉认为,拓荆科技的市场份额依然有较大提升空间。
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